Vakuum nasoslarixilma-xil ishlatiladivakuum tizimlari, kameralar va ishlash usullari bilan birga. Ba'zi hollarda bitta dasturda bir nechta nasoslar (ketma-ket yoki parallel) ishlaydi. Qabul qilish portidan chiqish (egzoz) portiga gaz yukini o'tkazadigan musbat joy almashinadigan nasos, ko'pincha qo'pol vakuum deb nomlanuvchi qisman vakuum hosil qilish uchun ishlatilishi mumkin. Bunday nasoslar mexanik cheklovlar tufayli faqat past vakuumga erisha oladi. Keyinchalik katta vakuum hosil qilish uchun boshqa protseduralar ketma-ketlikda qo'llanilishi kerak (odatda tez vakuum ishlab chiqarish uchun manfiy o'zgaruvchan nasos ishlatilgandan keyin). Yog 'muhrlangan aylanma qanotli nasos (eng tipik musbat joy almashinadigan nasos) diffuziya nasosini qo'llab-quvvatlash uchun ishlatilishi mumkin yoki quruq aylanish pompasi turbomolekulyar nasosni qo'llab-quvvatlash uchun ishlatilishi mumkin. Kerakli vakuum kuchiga qarab boshqa kombinatsiyalar mavjud.
Yuqori vakuumga erishish qiyin, chunki vakuumga duchor bo'lgan barcha materiallarning gaz chiqarish va bug 'bosimi xususiyatlarini diqqat bilan o'rganish kerak. Masalan, vakuum kamerasi muhrlari sifatida ishlatiladigan moylar, moylar va plastmassa yoki kauchuk qistirmalari vakuum bilan aloqa qilganda qaynab ketmasligi kerak; aks holda, hosil bo'lgan gazlar tegishli darajadagi vakuumga erishishga to'sqinlik qiladi. Vakuumga duchor bo'lgan barcha sirtlar so'rilgan gazlarni haydash uchun tez-tez yuqori haroratda qovurilishi kerak.
Vakuumli nasosdan oldin quritish ham gazning chiqib ketishining oldini olishga yordam beradi. Klein gardishlari yoki ISO gardishlari kabi metall qistirmali muhrlarga ega bo'lgan metall kameralar yuqori vakuumli kamera muhrlarida rezina qistirmalarga qaraganda tez-tez uchraydi, ular past vakuumli kameralarning yopilishida tez-tez uchraydi. Gaz chiqarishni kamaytirish uchun tizim toza va organik qoldiqlardan xoli bo'lishi kerak. Qattiq yoki suyuq barcha materiallar past bug' bosimiga ega va vakuum bosimi ushbu bug 'bosimidan pastga tushganda, gazni chiqarish juda muhim bo'ladi. Natijada, past vakuumlarda yaxshi ishlaydigan ko'plab materiallar, masalan, epoksi, yuqori vakuumlarda gazni chiqarib yuborishi mumkin. Ushbu himoya choralari mavjud bo'lganda, turli xil molekulyar nasoslar yordamida 1 mPa vakuumlarni olish mumkin. To'g'ri dizayn va ishlash bilan 1 mPa ga erishish mumkin.
Har xil turdagi nasoslar ketma-ket yoki parallel ravishda ishlatilishi mumkin. Atmosferadan boshlab (760 Torr, 101 kPa) va 25 Torr (3 kPa) gacha ishlaydigan standart nasos ketma-ketligida kameradan gazning ko'p qismini yo'q qilish uchun ijobiy joy almashinadigan nasosdan foydalaniladi. Keyin bosim sorbsion nasos (10 mPa) yordamida 104 Torr ga tushiriladi. Bosimni 108 Torr (1 Pa) ga kamaytirish uchun kriyopompa yoki turbomolekulyar nasosdan foydalaniladi. 106 Torr ostida, geliy yoki vodorod kabi kriyopompa yoki turbo nasos bardosh bera olmaydigan gazlarni olib tashlash uchun qo'shimcha ion nasosini ishga tushirish mumkin.
Ko'pincha ultra yuqori vakuum uchun maxsus ishlab chiqarilgan uskunalar, qattiq operatsion tartib-qoidalar va adolatli miqdordagi sinov va xatolik talab qilinadi. Metall qistirmali vakuumli gardishli zanglamaydigan po'latdan yasalgan vakuum tizimlari eng keng tarqalgan. Tizimdagi barcha gaz chiqaradigan elementlarning bug' bosimini vaqtincha oshirish va ularni qaynatish uchun tizim odatda vakuum ostida pishiriladi. Tizimni bu gazdan chiqarish, agar kerak bo'lsa, xona haroratida ham amalga oshirilishi mumkin, garchi bu ancha uzoq davom etadi. Chiqaruvchi materiallarning asosiy qismi qaynatilgandan va evakuatsiya qilingandan so'ng, real ish paytida qoldiq gaz chiqarishni kamaytirish uchun tizim bug' bosimini pasaytirish uchun sovutilishi mumkin. Suyuq azot ba'zi tizimlarni xona haroratidan pastroq sovutish uchun, qoldiq gaz chiqarishni to'xtatish va tizimni kriyopompalash uchun ishlatiladi.
Ba'zi noodatiy oqish yo'llari va gaz chiqarish manbalari ultra yuqori vakuumli tizimlarda ko'rib chiqilishi kerak. Alyuminiy va palladiyning suvni singdirishi gaz chiqarishning chidab bo'lmas sababiga aylanadi va hatto zanglamaydigan po'lat va titanning singishi kabi qattiq metallarga ham murojaat qilish kerak. Jiddiy vakuumlarda ba'zi yog'lar va yog'lar qaynab ketadi. Metall vakuum kamerasi devorlarining g'ovakligini va metall gardishlarning don yo'nalishini hal qilish kerak bo'lishi mumkin.
Molekula hajmining ta'sirini hisobga olish kerak. Kichikroq molekulalar oqib chiqishi va maxsus materiallar tomonidan so'rilishi osonroq; Shunday qilib, molekulyar nasoslar kichikroq molekulyar og'irlikdagi gazlarni pompalashda unchalik samarali emas. Tizim azotni (havoning asosiy komponenti) tegishli vakuumga olib tashlashi mumkin bo'lsa-da, kamerada qolgan vodorod va geliy hali ham mavjud bo'lishi mumkin. Palladiy (yuqori sig'imli vodorod shimgichi) kabi yuqori gaz o'tkazuvchan material bilan qoplangan idishlarda gaz chiqarish muammolari paydo bo'ladi.
